Máy đo giao thoa lỗ nhìn xuống khẩu độ lớn Verifire XL của Zygo
Verifire™ XL là một máy đo giao thoa dạng trạm làm việc độc lập, được thiết kế để đo một cách đơn giản và đáng tin cậy các bề mặt phẳng lớn có đường kính lên tới ba trăm milimet (12 inch). Ví dụ điển hình của các bề mặt này bao gồm gương phản xạ bề mặt trước, cửa sổ và đế bán dẫn hoặc kẹp wafer.
Hệ thống tích hợp hoàn toàn này dễ sử dụng, với bàn dịch nghiêng chịu tải nặng giúp định vị chi tiết một cách lặp lại mà không cần cố định riêng. Kích thước nhỏ gọn, tích hợp sẵn hệ thống chống rung, giúp tiết kiệm tối đa diện tích sàn sản xuất.
Chống rung hiệu quả
Hệ thống Verifire XL bao gồm công nghệ thu nhận QPSI được cấp bằng sáng chế của Zygo, cho phép đo chính xác cao một cách đáng tin cậy ngay cả trong môi trường rung động. QPSI cho phép đo hình dạng bề mặt trên trục thực sự, mà không bị suy giảm do rung động thông thường của sản xuất.
[Hình ảnh]: So sánh hoạt ảnh của phép đo PSI với hiện tượng lọt viền nhiễu xạ do rung động và cùng một bề mặt được đo bằng công nghệ QPSI – không có nhiễu lọt viền.
Đo lường chính xác
Thấu kính phẳng truyền dẫn hiệu suất cao trong hệ thống Verifire XL được thiết kế để giảm thiểu độ nhạy với độ võng do trọng lực và bao gồm tệp hiệu chuẩn toàn diện để cho phép đạt độ chính xác tối ưu của hệ thống.
[Hình ảnh]: Thấu kính truyền dẫn tích hợp.
Phần mềm Mx™
Phần mềm đo lường và phân tích Mx™ độc quyền của ZYGO cung cấp nhiều tính năng vận hành và công cụ trực quan hóa dữ liệu cho khả năng đo lường vô song trong giao diện dễ sử dụng. Phần mềm Mx hiện bao gồm công nghệ Smart Averaging giúp thu được phép đo tốt nhất có thể trong thời gian ngắn nhất và SPC tích hợp cung cấp khả năng mạnh mẽ cho các tình huống sản xuất.
Tính năng chính:
- Khẩu độ 12 inch (300 mm)
- Kích thước nhỏ gọn, hệ thống độc lập
- Dễ dàng nạp và căn chỉnh chi tiết
- Thiết lập đơn giản và vận hành hiệu quả
- Thấu kính phẳng truyền dẫn được căn chỉnh sẵn tích hợp
- Chống rung tích hợp và công nghệ QPSI để đo đáng tin cậy trong môi trường sản xuất.
Để biết thêm nhiều thông tin bổ ích, vui lòng truy cập Tại đây!
