#CSI #Coherence-Scanning-Interferometry #Giao-thoa-kế-quét-kết-hợp
Khi tìm kiếm một giải pháp đo lường quang học đáng tin cậy và hiệu quả, việc lựa chọn hệ thống phù hợp rất quan trọng. Không phải tất cả các hệ thống, thiết bị đều giống nhau, và để đảm bảo sự thành công trong các ứng dụng đòi hỏi độ chính xác và đa dạng, bạn cần tìm kiếm giải pháp đặc trưng bởi tốc độ, độ chính xác đo lường xuất sắc, độ phóng đại linh hoạt hay khả năng đo lường trên nhiều loại bề mặt từ siêu mịn đến cực kỳ gồ ghề.
Các hệ thống giao thoa kế của Zygo dựa trên công nghệ CSI (Coherence Scanning Interferometry, tạm dịch Giao thoa kế quét kết hợp) mang lại hiệu suất tốt nhất trên thị trường hiện nay. Các hệ thống này sử dụng nguyên lý giao thoa ánh sáng trắng để kiểm tra bề mặt mẫu vật.
Nguyên lý hoạt động của CSI
Như hình minh họa trên, ánh sáng từ nguồn sáng được chia thành hai đường. Một đường đi đến bề mặt tham chiếu là tấm gương siêu phằng có độ chính xác cao, và đường còn lại đi đến bề mặt của mẫu vật cần kiểm tra. Hai tia sáng phản xạ từ hai bề mặt này sẽ giao thoa với nhau và tạo nên các vân giao thoa, như chúng ta đã biết, với tên gọi vân sáng và vân tối. Các vân giao thoa này mang những đặc điểm về hình dạng bề mặt của mẫu vật được kiểm tra.
Trong các hệ thống của Zygo, giao thoa kế bao gồm vật kính – thứ cung cấp cả độ phóng đại và có sẵn gương tham chiếu được tích hợp bên trong; một nguồn ánh sáng trắng (đã được lọc) chiếu tới bề mặt mẫu kiểm tra thông qua vật kính.
Ưu điểm vượt trội của CSI so với các công nghệ đo lường bề mặt khác
Độ chính xác tới nanomet:
Công nghệ của Zygo cung cấp độ chính xác tới mức nanomet hoặc thậm chí dưới nanomet ở tất cả các độ phóng đại.
Tốc độ đo lường:
Nó là một phương pháp đo nhanh, nhất quán, thường tạo ra 1.9 triệu điểm ảnh chỉ trong vài giây, và ở tất cả độ phóng đại.
Khả năng đo lường đa dạng:
CSI có thể được sử dụng trên các bề mặt với hầu hết mọi chất liệu, màu sắc và điều kiện bề mặt nào. Nó hoạt động tốt cho dù mẫu kiểm tra siêu mịn, siêu thô, phẳng, cong, nghiêng, trong suốt hay mờ, đục.
Đo lường trong điều kiện phức tạp:
Nó có khả năng xử lý tín hiệu bổ sung để đo trong điều kiện phức tạp với các lớp màng quang học trong suốt, điều chắc chắn gây khó khăn cho các phương pháp đo lường khác.
Những ưu điểm này kết hợp lại đã cung cấp tính linh hoạt xuất sắc vì cùng một thiết bị có thể được sử dụng cho rất nhiều các ứng dụng rộng lớn.
Với sự kết hợp của tốc độ, độ chính xác và tính đa dạng trong ứng dụng, công nghệ CSI của Zygo đã thiết lập một tiêu chuẩn mới trong đo lường bề mặt 3D. Dù là trong lĩnh vực công nghiệp, nghiên cứu, hay bất kỳ ngành nào đòi hỏi đo lường bề mặt chính xác, nó luôn là một giải pháp tối ưu để đáp ứng mọi yêu cầu. Đây là sự lựa chọn không thể thiếu để đảm bảo chất lượng và hiệu suất trong mọi ứng dụng đo lường bề mặt 3D.
Quý khách có nhu cầu tìm hiểu thêm về các thiết bị của Zygo, vui lòng đọc thêm về 3D Optical Profiler hoặc để lại thông tin tại đây. Chuyên viên của chúng tôi sẽ nhanh chóng tư vấn cho quý vị.
